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真空泵常用數據表

真空常用數據表
 
 

1、真空區域劃分
真空區域 壓強范圍
托(Torr) 帕(Pa)
低真空 760~10 101325~1333
中真空 10~10-3 1333~1.33×10-1
高真空 10-3~10-8 1.33×10-1~10-6
超高真空 10-8~10-12 10-6~10-10
極高真空 <10-12 <10-10
 
2、長度:公制-英制對照表
單位 米(m) 英尺(ft) 英寸(in)
1米(1m) 1 3.28 39.37
1英尺(1ft) 0.305 1 8.33
1英寸 0.0254 12 1
 
3、重量:公斤-磅-央士對照表
單位 公斤(kg) 英磅(Ib) 央士(oz)
1公斤 1 2.2 35.27
1磅 0.45 1 16
1央士 0.03 0.06 1
 
4、各種真空計及規管對照表
真空計名稱 電阻真空計 熱偶真空計 1.熱陰極電離真空計
2.壓強自動控制儀
冷陰極碰控
真空計
中真空計 超高真空計
規管名稱 電阻規管 熱偶規管 電離規管 冷陰極規管 中真空規管 B-A規管
規管型號 ZJ-52T ZJ-51(DL-3)
ZJ-53
ZJ-27(DL-9)
ZJ-2(DL-2)
ZJ-10(DL-5)
M014 DL-5
DL-8
ZJ-32
ZJ-32BC
ZJ-12
 
5、絕對溫度、攝氏、華氏溫度對照表
溫度形式 K(絕對溫度) ℃(攝氏) °F(華氏)
K(絕對溫度) 1 ℃+273.15 5/9(°F+459.67)
℃(攝氏) K-273.15 1 5/9(°F-32)
°F(華氏) 9/5(K-459.67) 9/5(℃+32) 1
 
6、抽氣速率單位換算表
單位 立方米/秒(m3/s) 升/秒(L/s) 立方米/小時 立方英尺/分
1立方米/秒(1m3/s) 1 1000 3600 2118.88
1升/秒(1L/s) 10-3 1 3.6 2.119
1立方米/小時(1m3/h) 2.78×10-4 0.278 1 0.59
1立方英尺/分(1cft/min) 4.72×10-4 0.47 1.69 1
 
7、各種水的電阻率(歐姆)
海水 劣質自來水 優質自來水 蒸餾水 超凈水
電阻率 10~10-2 103 104~105 106 107~108
 
8、20℃空氣在不同壓強下的分子平均自由程
P(托) 1 10-3 10-4 10-5 10-6 10-9
λ(厘米)   4.72×10-3 4.72 47.2 472 4720 4.72×106
 
9、常用壓強單位換算表
 
Pa

Torr
微米汞柱
μmHg
微巴
μbar
毫巴
mbar
大氣壓
atm
工程大氣壓
am
英寸汞柱
inHg
磅/英寸2
lb/in2
1 Pa 1 7.5
×10-3
7.5 10 10-2 9.86923
×10-6
1.0197
×105
2.953
×10-4
1.450
×10-4
1 Torr 133.32 1 103 1333.2 1.3332 1.31579
×10-3
1.3595
×10-3
3.937
×10-2
1.934
×10-2
1 μmHg 0.13332 10-3 1 1.3332 1.3332
×10-3
1.31579
×10-6
1.3595
×10-6
3.937
×10-5
1.934
×10-5
1 μbar 10-1 7.5
×10-4
7.5
×10-1
1 10-3 9.86923
×10-7
1.0197
×10-6
2.953
×10-5
1.450
×10-5
1 mbar 102 7.5
×10-1
7.5
×102
103 1 9.86923
×10-4
1.0197
×10-3
2.953
×10-2
1.450
×10-2
1 atm 101325 760 760×103 1013.25
×103
1013.25 1 1.0333 29.921 14.696
1 am 98066.3 735.56 735.56
×103
980663 980663
×10-3
0.967839 1 28.959 14.223
1 inHg 3386 25.4 25.4×103 3.386×104 33.86 3.342
×10-2
3.453
×10-2
1 4.912
×10-1
1 lb/in2 6895 51.715 51.715
×103
6.895×104 68.95 6.805
×10-2
7.031
×10-2
2.086 1
10、不同壓強下空氣分子密度
P(托) 1 10-3 10-4 10-5 10-6 10-9
n0(個/厘米3) 4×1016 4×1013 4×1012 4×1011 4×1010 4×107
 
11、真空油脂的主要性能
名稱   成分   20℃時飽和蒸氣壓(托) 最高使用溫度(℃)
2# 高分子碳   3.1×10-8 30
3# 氧化合物   10-9 35
4# 皂基脂   10-7~10-8 130
7501 硅油加硅粉   10-6以下   -40~+200
 
12、力單位的換算  
  達因(Dyn) 牛頓(N)   斯坦 公斤力(kgf)
1 10-5 10-8 1.02×10-6
 
13、功率單位換算
  單位 馬力 千瓦
馬力(PS) 1 0.735 735
千瓦(kW) 1.36 1 1000
瓦(W) 1.36 0.001 1
 
14、真空封膏特性
真空脂名稱 真空封脂 真空封泥
50# 80# 30#
溫度 50℃ 80℃ 30℃
  10-7~10-8 10-7~10-8 5×10-4
 
15、各種橡膠特性表
橡膠種類 天然橡膠 丁基橡膠 丁腈橡膠 氟橡膠
特性1 耐水性,耐酸性,耐堿性良好 滲透率小 耐油良好 23型耐強酸
特性2 出氣量較大 升華嚴重 彈性較好 26型滲透率低出氣率小
真空范圍 1×10-5 10-7 10-8 10-8
溫度 -30~80℃ -30~150℃ -30~120℃ -20~200℃
 
16、面積單位換算
平方米(m2) 平方厘米(cm2) 平方毫米(mm2) 平方市尺(sc2) 平方英尺(ft2) 平方英寸(in2)
1 10000 1000000 9 10.7639 1550
 
17、容積單位換算
立方米   升   立方市尺   英加侖   美加侖(液體) 立方英尺   立方英寸   日升
1 1000 27 219.98 264.18 35.3147 0.06103 554.37
 
18、1號真空機械泵油的主要性能指標
項目   運動粘離(厘泊) 閃點(℃) 飽和蒸汽壓20℃時(托)   比重(克/厘米3) 分子量(克)
KK-1 50℃時(47~57)
100℃時(8~11)
不低于15 不高于4×10-5 0.86 333
 
19、國產擴散泵油性能指標
牌號 1# 2# 3# 274硅油 275硅油
飽和蒸氣壓(托)20℃不大于 4×10-8 2×10-8 2×10-8 2×10-8 1.7×10-8
運動粘度(厘泊) 45~60 55~65 68~80 38±3 165±20
凝固點(℃)不高于 -15 -15 -15 -10 -14~-18
閃點(℃)不低于 230 230 230 >210 >243
比重(克/厘米2)       1.05~1.08 1.09±0.02
 
20、真空泵的種類及其工作范圍
真空泵 工作范圍(托)   真空泵 工作范圍(托)
旋片真空泵 760~5×10-4 往復真空泵 760~10-2
滑閥真空泵 760~5×10-3   吸附泵 760~10-4
油增壓泵 10-1~10-4 濺射離子泵 10-4~10-10
羅茨真空泵 10-1~10-4   鈦升華泵 10-3~10-10
油擴散泵 10-3~5×10-7   分子泵 10-3~10-10
水環真空泵 760~25 低溫泵 10-3~10-10
 
21、水在各種溫度下的飽合蒸氣壓
溫度 壓力   溫度 壓力
Pa Torr Pa Torr
-13 225.4 1.691 -10 386.5 2.149
-7 361.9 2.715 -3 489.6 3.673
0 610.4 4.579 3 757.8 5.685
7 1001 7.513 10 1228 9.209
13 1497 11.23 17 1937 14.53
20 2337 17.54 23 2808 21.07
27 3564 26.74 30 4242 31.82
33 5029 37.73 37 6274 47.07
40 7378 55.32 43 8638 64.80
47 10610 79.60 50 12330 92.51
53 14290 107.2 57 17310 129.8
60 19910 149.4 63 22840 171.4
67 27320 205.0 73 35420 265.7
77 41870 314.1 83 53400 400.6
87 62480 468.7 93 78460 588.6
97 90920 682.1 100 101325 760.0
101 104980 787.6        

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